Plasma Module
Plasma modul je určený k simulaci a modelování všech nejaderných nízkoteplotních plazmových reaktorů. Modul umožňuje řešit úlohy z následujících oblastí:
- Indukčně vázané plazma - Inductively Coupled Plasmas (ICP)
- Kapacitně vázané plazma - Capacitively Coupled Plasmas (CCP)
- Mikrovlnné plazma
- Detailní schéma elektrického obvodu může být do modelu zahrnuto prostřednictvím editoru v AC/DC a RF modulu. Předdefinované vazby pro nejpoužívanější typy reaktorů zjednodušují proces modelování automatickou implementací složitých vazeb mezi různými typy fyzikálních vlivů.
Oblasti použití:
- osvětlení
- výroba polovodičů
- sterilizace a filtrace v medicíně
- generování reakčních plynů
- pohonná zařízení
- plazmové svítilny