MEMS Module („MicroElectroMechanical Systems“) je modul určený pro návrh a analýzu fyzikálních jevů probíhajících v komplexních mikrozařízeních jako jsou například akční členy, různé snímače nebo filtry. Z hlediska svého využití je zřejmé, že tento modul je silně multifyzikální, tj. umožňuje propojovat aplikace z různých fyzikálních oblastí do jednoho komplexního modelu. U MEMS zařízení je potřeba řešit jak elektrické, tak mechanické zatížení, případně zahrnout další fyzikální aplikace – tepelné a elektromechanické jevy atd. Pro řešení mikrofluidních zařízení je určený nadstavbový modul Microfluidics Module.

Oblasti použití: